A interação do feixe de elétrons com a amostra origina uma série de fenômenos físicos, os quais podem ser medidos por vários detectores. Entre eles, os mais comuns detectam elétrons
- A. transmitidos, que indicam a composição da amostra, e elétrons espalhados, que fornecem informações quanto à topografia da amostra.
- B. transmitidos, que fornecem detalhes do interior da amostra, e elétrons retroespalhados, que indicam a morfologia da amostra.
- C. primários, que fornecem dados quanto à superfície da amostra, e elétrons secundários, que permitem identificar a composição e topografia da amostra.
- D. secundários, que fornecem informações quanto à superfície da amostra, e elétrons retroespalhados, que fornecem informações quanto à composição e topografia da amostra.
- E. livres, que fornecem informações quanto à morfologia da amostra, e elétrons de camadas mais internas, que indicam a composição da amostra.