Questão número 45048

Quais os principais materiais empregados em máscaras litográficas?

  • A. Emulsão fotográfica, cromo sobre quartzo e ferróxido sobre quartzo.
  • B. Cromo sobre vidro óptico, pirex com resina, negativo fotográfico.
  • C. Silício corroído, filmes finos de titânio, PDMS.
  • D. Película de Berílio, PDMS e PGMEA.
  • E. Cromo sobre quartzo, PDMS, Kapton.
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