Questão número 45049
Química - Práticas Laboratoriais em química - FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência (FUNRIO) - 2012
Como é definida a tolerância que pode ser aceita em um processo litográfico?
- A. Pelas regras de leiaute do CI em ¼ da menor dimensão do dispositivo.
- B. Pela tecnologia, atualmente em 0,27 micrometros.
- C. Pela resolução do sistema ótico, 4 vezes a resolução do sistema.
- D. Pela resolução do sistema ótico, 4 vezes o comprimento de onda.
- E. Pelo menor passo da alinhadora.
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