Questão número 45050

O que é modo de contato em fotolitografia?

  • A. É o método utilizado para dupla exposição do fotorresiste sem perda de definição.
  • B. É o modo de exposição em que o substrato fica em contato íntimo com a máscara litográfica.
  • C. É o método de geração de imagem na superfície do fotorresiste com posterior difusão do solvente.
  • D. É o modo no qual a máscara litográfica é colocada próxima a fonte de UV.
  • E. É o uso de sistemas litográficos com fixação do substrato por vácuo no chuck da alinhadora.
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