Questão número 45051

Quais as reações que ocorrem durante o Prebake ?

  • A. O endurecimento do fotorresiste para resistir as corrosões por plasma.
  • B. A homogenização do fotorresiste e o aumento da sensibilidade.
  • C. A degradação do fotorresiste e sua posterior remoção.
  • D. A remoção do solvente, a adesão do fotorresiste e a ativação do foto-ácido.
  • E. A transição vítrea do polímero.
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