Questão número 45054

O que é a litografia de três camadas?

  • A. Litografia composta de camada de planarização, camada de barreira e camada fotossensível.
  • B. Litografia composta de três camadas de fotorresiste depositadas sequencialmente.
  • C. Processo litográfico para o desenvolvimento de dispositivos de três camadas tipo MOS.
  • D. Litografia utilizada na fabricação de máscaras litográficas.
  • E. Processo alternativo a fotolitografia com resistes não sensíveis à luz.
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