Questão número 45056

As coberturas antirrefletoras (ARC) em fotolitografia são utilizadas para

  • A. reduzir as ondas estacionárias em fotorresistes.
  • B. reduzir a dose do UV nos fotorresistes.
  • C. diminuir a espessura dos fotorresistes.
  • D. reduzir a sensibilidade dos fotorresistes.
  • E. atuar como filtros de UV em fotorresistes.
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