Questão número 45057

O que significa CD (Critical Dimension) in microlitografia?

  • A. A menor linha da máscara litográfica.
  • B. A menor dimensão para fabricar um transistor MOS.
  • C. A menor dimensão definida por processo litográfico.
  • D. A menor espessura do fotorresiste.
  • E. A maior espessura do fotorresiste.
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