Questão número 45060

Quais as principais causas das ondas estacionárias nos fotorresistes?

  • A. Pouca mobilidade das cadeias poliméricas no fotorresiste.
  • B. Pouca difusão do foto-ácido.
  • C. Espessura do fotorresiste.
  • D. A difração nos limites das lentes e nas bordas das estruturas nas máscaras.
  • E. Comprimento de onda utilizado.
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