Questão número 45066

Qual a necessidade de estruturas de inspeção em litografia?

  • A. Para o controle do processo litográfico sem que haja a necessidade de fabricar totalmente o dispositivo.
  • B. Para testar o sistema ótico da alinhadora.
  • C. É utilizado como marca d’água pelo fabricante das máscaras.
  • D. Para o controle do projetista da máscara litográfica.
  • E. Só é utilizada ao término do dispositivo.
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