Questão número 45067

Onde se aplica o limite de Abbe em fotolitografia?

  • A. No projeto das máscaras litográficas.
  • B. No projeto de lentes da alinhadora.
  • C. No cálculo do limite de resolução do sistema óptico das alinhadoras.
  • D. No limite do microscópio utilizado para o alinhamento.
  • E. Na escolha da lâmpada da alinhadora.
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