Questão número 45069
Química - Práticas Laboratoriais em química - FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência (FUNRIO) - 2012
Quais as principais causas do limite de resolução em fotolitografia?
- A. Espessura do fotorresiste, tempo de cura e revelador.
- B. Material da máscara litográfica e tipo de alinhadora.
- C. Tecnologia do dispositivo e fabricante da máscara.
- D. Revelador utilizado, tempo de exposição do fotorresiste e conteúdo sólido do fotorresiste.
- E. Comprimento de onda, tipo de fotorresiste, sistema ótico da alinhadora e limite de definição da máscara.
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