Questão número 45070

Qual a definição de resolução em litografia?

  • A. Menor distância entre dois pontos observados no microscópio.
  • B. Espaço entre duas estruturas em um dispositivo.
  • C. Comprimento de onda do UltraVioleta utilizado.
  • D. Menor distância entre duas linhas definidas no resiste.
  • E. Significado definido pelo fabricante da alinhadora.
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