Questão número 45071

Como se define a profundidade de foco em fotolitografia?

• A. É a maior profundidade em que é projetada a imagem no fotorresiste sem que haja perda de definição das bordas.
• B. É a maior área do fotorresiste iluminada durante a exposição litográfica.
• C. É a distância em que deve ser colocada a lâmina de silício em relação à máscara litográfica.
• D. É a espessura máxima do fotorresiste.
• E. É a profundidade das trincheiras obtidas após a revelação do fotorresiste.