Questão número 519848

Quais as principais vantagens de plasmas de alta densidade tipo ICP (acoplamento indutivo) em comparação com plasmas com acoplamento capacitivo, para processos de corrosão?

  • A. Maior aquecimento de amostras durante a corrosão.
  • B. Controle independente de densidade do plasma e da autopolarização (self-bias).
  • C. Taxas de corrosão mais altas.
  • D. Danos em materiais menores.
  • E. Pressão de gás menor.
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