Questão número 519854
Engenharia Elétrica - Princípios de Ciências dos Materiais - FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência (FUNRIO) - 2012
Qual a finalidade da fase do processo RIE chamada breakthrough?
- A. Corrosão da camada de oxido nativo.
- B. Corrosão do filme de Si.
- C. Remoção de fotorresiste.
- D. Limpeza da amostra.
- E. Remoção de silício sobrando depois da corrosão.
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