Questão número 519857

Na corrosão tipo RIE (reactive ion etching), o efeito sinergético aparece por causa de interação de que fatores?

  • A. Alta temperatura dos elétrons e dos íons.
  • B. Alta energia de íons e o aquecimento da amostra.
  • C. Alta energia de íons e o aquecimento do eletrodo.
  • D. Bombardeamento iônico e amorfização do material por radicais reativos.
  • E. Irradiação da amostra por fótons UV e bombardeamento iônico.
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