Questão número 519879
Engenharia Elétrica - Princípios de Ciências dos Materiais - FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência (FUNRIO) - 2012
Assinale a alternativa que contém somente processos que retirem o fotorresiste.
- A. Limpeza piranha (solução H2SO4/H2O2) e processo com plasma de oxigênio.
- B. Limpeza RCA e corrosão com HCl.
- C. Limpeza piranha (solução H2SO4/H2O2) e limpeza RCA.
- D. Processo com plasma de oxigênio e limpeza RCA.
- E. Limpeza piranha (solução H2SO4/H2O2) e corrosão com solução de HCl.
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