Questão número 519880

O processamento térmico rápido (RTP) é usado para:

  • A. A obtenção de junções rasas.
  • B. A ativação de dopantes em porta de Si –policristalino.
  • C. A silicetação.
  • D. A obtenção de óxido de porta ultra-fino.
  • E. Todos os processos citados nas alternativas acima podem ser executados com o processamento térmico rápido.
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