Questão número 519886

Quando se utiliza a deposição química a partir da fase vapor enriquecida por plasma (PECVD)?

  • A. Quando se necessita da difusão de dopantes em temperaturas baixas, menores que 350ºC.
  • B. Quando se necessita da deposição de filmes finos em temperaturas altas, maiores que 900ºC.
  • C. Quando se necessita da deposição de filmes finos em temperaturas baixas, menores que 350ºC.
  • D. Quando se necessita da difusão de dopantes em temperaturas altas, maiores que 900ºC.
  • E. Quando se necessita da difusão e deposição de dopantes e filmes em qualquer temperatura.
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