Questão número 519888
Engenharia Elétrica - Princípios de Ciências dos Materiais - FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência (FUNRIO) - 2012
Que filmes são depositados por LPCVD (deposição química a partir da fase vapor executada em baixa pressão)?
1 -W e SiO2.
2 - SiO2 e Si3N4.
3 - Si3N4 e silício policristalino.
4 - Si3N4, SiO2 e silício policristalino.
- A. Apenas 2 e 3.
- B. Apenas 3 e 4.
- C. Apenas 1, 2 e 3.
- D. Apenas 2, 3 e 4.
- E. 1, 2, 3, e 4.
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