Questão número 519901

A seguir, são apresentadas algumas vantagens de diferentes processos de deposição química a partir de vapor.

I – Reator simples.

II – Altas taxas de deposição.

III – Excelente pureza e uniformidade.

IV – Baixa temperatura.

Assinale a alternativa que apresenta a(s) vantagem(ns) da deposição química a partir de vapor em baixa pressão.

• A. Apenas I.
• B. Apenas I e II.
• C. Apenas III.
• D. Apenas II e III.
• E. Apenas III e IV.