Engenharia Elétrica - Princípios de Ciências dos Materiais - FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência (FUNRIO) - 2012
Leia as afirmativas abaixo acerca da oxidação de silício.
I Para obtenção de uma mesma espessura de óxido a uma dada temperatura, a oxidação seca é um processo mais rápido que a oxidação úmida. II A oxidação úmida é realizada pela técnica spin-on. III A oxidação consome silício do substrato, de maneira que a espessura total após a oxidação não é igual à soma da espessura inicial da camada de silício com a espessura da camada de óxido. Assinale a alternativa com a(s) afirmativa(s) correta(s){TITLE}
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