Questão número 520052

Em três lâminas de Si iguais foram implantados os íons de 11B+, na primeira, 31P+, na segunda e 75As+, na terceira. Qual íon penetrará mais em sua respectiva lâmina de Si, ou seja, apresentará a maior profundidade no Si? Nota: todas as implantações foram executadas com as mesmas condições de energia, dose e ângulos de inclinação e rotação.

  • A. 75As+,
  • B. 31P+
  • C. 11B+
  • D. Os três íons penetrarão com a mesma profundidade no Si.
  • E. Os íons de 31P+ e 11B+ penetrarão com a mesma profundidade no Si.
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