Questão número 520057

Qual deve ser o ambiente interno no implantador de íons para executar o processo?

  • A. Ambiente inerte com gás nitrogênio.
  • B. Ambiente em vácuo com pressão em torno de 1 mTorr.
  • C. Ambiente em vácuo em pressão atmosférica.
  • D. Ambiente inerte com gás argônio.
  • E. Ambiente em vácuo com pressão menor que 10-6 Torr.
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