Questão número 520064
Engenharia Elétrica - Princípios de Ciências dos Materiais - FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência (FUNRIO) - 2012
Para evitar ou reduzir o efeito de canalização de íons numa lâmina de Si com orientação cristalina (100) durante a implantação de íons, a lâmina deve ser posicionada no implantador com inclinação e rotação?
- A. Não, somente com inclinação.
- B. Sim, com rotação e inclinação da lâmina.
- C. Não, pois a lâmina de Si tem estrutura amorfa.
- D. Não, pois com a lâmina de Si com orientação cristalina (100) não ocorre o efeito de canalização.
- E. Sim, mas não precisa da inclinação.
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