Questão número 531634

Informação estrutural é muito importante tanto para o desenvolvimento de novos dispositivos, quanto para controle de processos em microfabricação. Tendo em vista o uso de raios X em microeletrônica aponte qual afirmativa NÃO é verdadeira dentre as seguintes alternativas:

  • A. Através de difração de raios X é possível medir a tensão mecânica nas camadas de um dispositivo.
  • B. O difratograma de raios X é usado para identificar quimicamente os elementos presentes nos filmes depositados.
  • C. As espessuras de camadas epitaxiais em semicondutores avançados podem ser obtidas do seu difratograma de raios X
  • D. Os tamanhos dos grãos das trilhas metálicas dos circuitos integrados podem ser medidos por difração de raios X.
  • E. Através de difração de raios X o cristal de silício é orientado para o processo de fatiamento em wafers e identificação.
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