Questão número 531637

Uma técnica metrológica de grande importância em microfabricação é a microscopia de força atômica. Com relação ao uso dessa ferramenta em microeletrônica NÃO se pode afirmar o seguinte:

• A. Medidas com resolução de profundidade de até 0,01nm são possíveis.
• B. AFM é usada para medir a rugosidade da superfície de wafers de Si.
• C. A interação da sonda com a amostra pode danificar tanto a amostra quanto a sonda.
• D. As sondas tem elevadíssima razão de aspecto, o que permite obter imagens de objetos nanométricos.
• E. A resolução lateral é limitada pelo mecanismo piezoelétrico de varredura.