Imagens de microscopia eletrônica de varredura são muito usadas na inspeção de circuitos integrados. Nesse contexto são verdadeiras as seguintes afirmativas, EXCETO:
- A. O contraste entre as estruturas de composição química diferente pode ser evidenciado com o uso de imagem de elétrons retroespalhados.
- B. Nas energias típicas do feixe (10-30keV) as camadas dielétricas do circuito se tornam praticamente transparentes e o efeito de carregamento é desprezível.
- C. Topografia pode ser evidenciada inclinando-se a amostra em relação ao feixe.
- D. Raios-x característicos são gerados no volume de interação do feixe, e permitem uma análise química com sua detecção.
- E. Circuitos integrados podem ser danificados pelo feixe de elétrons do microscópio.