As afirmativas abaixo são verdadeiras, EXCETO:
- A. Em MOSFETs a presença de íons de sódio no óxido compromete o desempenho do dispositivo, devido a sua alta mobilidade iônica.
- B. A camada de óxido de porta de MOSFETs é preferencialmente fabricada por oxidação em vapor de água.
- C. A taxa de crescimento do óxido de silício em oxidação úmida é muito mais alta que a oxidação seca.
- D. Altas taxas de crescimento de óxido resultam em maior número de estados localizados na interface Si-SiO2.
- E. A presença de cloro na atmosfera oxidante reduz a incorporação de sódio no óxido.