Questão número 543608
Engenharia Química - Geral - FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência (FUNRIO) - 2012
A limpeza das lâminas de silício é fundamental num processo de microfabricação. Para garantir uma limpeza eficaz, com a menor quantidade possível de impurezas, segue-se um processo padrão de uma sequência de etapas. No caso da eliminação, principalmente, de gordura, utiliza-se uma solução denominada piranha, a qual pode ser representada como:
- A. NH4OH/H2O2/H2O.
- B. HF/H2O.
- C. H2SO4/H2O2.
- D. HCl/H2O2/H2O.
- E. Água deionizada.
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