Questão número 543622

Difusão, na fabricação de Circuitos Integrados, refere-se à migração forçada e controlada de impurezas no substrato. O perfil de impurezas resultante, que tem papel importante no desempenho do Circuito Integrado, é afetado pela temperatura e pelo tempo de difusão. Fontes de impurezas podem ser líquidas, gasosas e sólidas e são colocadas em contato com o silício do substrato. Dentre as impurezas gasosas, as mais usadas como dopantes do tipo p e dopantes do tipo n, respectivamente, são

  • A. B2H6 e PH3.
  • B. PH3 e AsH3.
  • C. PH3 e B2H6.
  • D. BCl3 e B2H6.
  • E. AsH3 e BCl3.
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