Questão número 565678

Quando o feixe de elétrons incide sobre uma amostra, os elétrons dos átomos são excitados, mudando de níveis energéticos. Ao retornarem para sua posição inicial, liberam a energia adquirida na forma de ondas com comprimento de onda no espectro de raios-X. Um detector instalado na câmara de vácuo do Microscópio Eletrônico de Varredura mede a energia associada a esse fóton. Como a energia emitida no decaimento dos elétrons é característica para cada elemento químico, é possível, no ponto de incidência do feixe, determinar quais os elementos químicos presentes naquela área. A técnica descrita acima corresponde a de

• A. difração de raio-X.
• B. espectroscopia de raio-X por dispersão de energia (EDS).
• C. espectroscopia de fotoelétrons com raio-X.
• D. litografia.
• E. elipsometria espectral.