Questão número 565704

Quanto aos reatores de deposição química de vapor melhorada por plasma (PECVD), é correto afirmar que

• A. as frequências utilizadas estão na faixa dos raios-X e as pressões acima de 0,1 atm.
• B. as frequências utilizadas estão na faixa da radiofrequência e das micro-ondas e as pressões são de até 0,01 atm.
• C. as frequências utilizadas estão na faixa do ultravioleta e as pressões acima de 0,1 atm.
• D. as frequências utilizadas estão na faixa dos raios-X e as pressões são de até 0,01 atm.
• E. as frequências estão na faixa da radiofrequência e das micro-ondas e as pressões devem ser maiores que 0,1 atm.