Questão número 565722

Considerando as duas principais aplicações dos silicetos - porta em transistores MOS e como metal de contato sobre as regiões de fonte e dreno desses transistores - a escolha do siliceto para estas utilizações requer a observação do seguinte requisito:

  • A. máxima penetração na junção.
  • B. alta resistividade.
  • C. alta rugosidade.
  • D. existência de processo de corrosão seletiva do metal evaporado em relação ao siliceto.
  • E. Reação ao SiO2 durante as temperaturas de silicetação.
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