Engenharia Elétrica - Teoria de Controle - FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência (FUNRIO) - 2012
Processos de Sputtering têm várias aplicações na produção de circuitos integrados. Considere o processo que envolve as etapas abaixo.
I Emissão de um feixe de íons. II Íons se chocam contra o alvo, provocando o arrancamento de átomos do alvo. III Os átomos ejetados são termodinamicamente instáveis e depositam-se sobre as paredes da câmara e sobre o substrato. IV Os átomos recobrem o substrato com um filme fino. O processo acima descrito corresponde a{TITLE}
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